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La serie di valvole ad angolo per vuoto elevato XL fornisce un'eccellente conducibilità termica e, quindi, una temperatura uniforme sull'intero corpo della valvola e una notevole riduzione dell'accumulo di gas al suo interno. La valvola non contiene metalli pesanti quali Ni (nickel) o Cr (cromo) e il basso livello di polverizzazione contribuisce a ridurre al minimo la contaminazione con metalli pesanti dei microchip.
La serie XM (valvole ad angolo per vuoto elevato) e XY (valvole in linea per vuoto elevato) è dotata di corpo in SUS (acciaio inox). La struttura della serie XM è la stessa della serie XL, con la differenza che il corpo della serie XL è in alluminio. La serie XM e la serie XL sono intercambiabili. Il processo di produzione monopezzo con microfusione della serie XY evita imperfezioni dovute all'accumulo di gas e assicura l'assenza di porosità nel corpo.
XGT, valvola a slitta vuoto elevato