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Seit über 130 Jahren setzen wir Maßstäbe in der Vakuumtechnik.
Unser umfassendes Leistungs- und Lieferprogramm reicht von Vakuumpumpen über Mess- und Analysegeräte bis hin zu komplexen Vakuumsystemen. Dabei spielt die Qualität immer die entscheidende Rolle: Produkte von Pfeiffer Vacuum werden durch enge Kooperation mit Kunden aus unterschiedlichen Branchen, kontinuierliche Entwicklungsarbeit und viel Engagement unserer Mitarbeiter permanent optimiert.
Quadrupol-Massenspektrometer sind das klassische Messinstrument zur Beurteilung der Restgaszusammensetzung in einem Vakuumsystem.
Die vom Massenspektrometer gelieferten Ionenströme für das Masse-Ladungs-Verhältnis der Gasbestandteile liefern aussagekräftige Informationen über ein Vakuumsystem in den verschiedenen Betriebsphasen, sei es nach dem Aufbau bei der Beurteilung der Dichtigkeit und der Kontaminationsfreiheit oder beim Betrieb eines Vakuumprozesses zu dessen Charakterisierung.
Der Druckbereich, der im Vakuumsystem aufgrund der Auslegung von Vakuumkammer und Pumpsystem erreicht werden kann, bestimmt die Auswahl des Massenspektrometers bezüglich des Detektors. Im Hochvakuum ist oftmals ein Faraday-Detektor ausreichend während im Ultrahochvakuum ein Sekundärelektronenvervielfacher zum Nachweis der äußerst geringen Gasdichten erforderlich ist.